纳米级电接触电阻测量技术是一种用于测量微小电阻值的方法，特别是当接触尺寸在纳米级范围内时。这种技术通常需要高灵敏度的测量仪器和精密的实验设置。以下是一些常见的新型纳米级电接触电阻测量技术：

1. 接触式原子力显微镜（AFM）测量： 接触式原子力显微镜可用于测量纳米级电阻。在这种方法中，导电探针通过扫描表面，监测电流和电压的变化，从而计算电阻。这种方法对于纳米级电阻的非破坏性测量很有用。

2. Kelvin探针力显微镜（KPFM）： KPFM结合了原子力显微镜和电容成像技术，可以用于测量表面的电阻和电势分布。通过在电极之间移动探针，KPFM可以实现对接触电阻的纳米级测量。

3. 扫描隧道显微镜（STM）： 扫描隧道显微镜是一种能够通过电子隧道效应来测量导体表面拓扑结构的工具。它也可以用于测量电阻，特别是在纳米级尺度下。

4. 纳米操纵技术： 利用纳米操纵技术，可以在纳米级别上精确控制电极之间的距离，并通过测量电流和电压来计算电阻。这种方法通常需要极其精密的实验室设置。

5. 热电阻测量技术： 通过在纳米尺度下使用热电阻效应，可以实现对纳米级电阻的测量。这种方法涉及在纳米尺度下通过电流引入热量，然后测量热量传导的方式。

这些技术的选择取决于具体的应用需求、样品性质和实验条件。纳米级电接触电阻测量是纳米电子学和纳米器件研究中的关键技术之一，有助于理解纳米尺度下电子传输的特性。