MEMS压力传感器是指采用微机电系统（MEMS）技术制造的一种用于测量压力的传感器。在这种传感器中，微型集成电路芯片与微机电系统技术相结合，具有体积小、功耗低、精度高、响应速度快等优点。

MEMS压力传感器的工作原理是基于压力作用在感应器上时所引起的微小形变。感应器通常由两个层叠的薄膜组成，上下两层薄膜材料具有不同的机械性能。当外部压力作用在传感器上时，上层薄膜会发生微小的形变，从而导致下层薄膜上的电阻值发生变化。通过测量电阻值的变化，可以得到外部压力的大小。

MEMS压力传感器具有广泛的应用领域。在汽车领域中，它可以用于汽车胎压监测系统，实时监测轮胎的气压情况，提高行车安全性。此外，MEMS压力传感器还可以应用于工业控制系统中，如测量液体或气体的压力，监测管道系统的压力变化，保证工业生产的安全与稳定性。在医疗领域中，MEMS压力传感器可以用于监测血压、呼吸器官的压力情况，对疾病诊断和治疗提供重要的数据支持。

此外，MEMS压力传感器还可以应用于航空航天领域。在航空器中，可以使用MEMS压力传感器来测量飞机的气压高度，航空器飞行过程中的压力变化情况，以及飞机机舱的压力状态。在舰船领域，MEMS压力传感器也可以用于测量船体的静压力，舰船在水中的压力变化情况等。

总的来说，MEMS压力传感器的出现极大地促进了传感技术的发展，为各个领域的应用带来了更多可能性。通过不断改进和创新，MEMS压力传感器在未来的应用领域中将会有更广泛的应用前景。